扫描电子显微镜能测长吗?

时间:2022-06-15 作者:普天同创 阅读:510

回答是肯定的。扫描电镜本身的唯一功能不仅仅是用作微区放大,而且可以进行微米、 纳米微小尺度计量测量。目前在国内能测量纳米长度的仪器虽然有多种,然而具备真正意义的纳米计量测量条件的仪器不多。在测量的同时又能直接显示纳米物体形态,而且有合理、合法的标准器、有计量检定规程,可以实现计量溯源的仪器非扫描电子显微镜莫属。

换一句话说,扫描电镜不仅能测长,而且理应成为许多实际测长应用领域中最佳的测 量工具。

扫描电镜测长的三个基本条件是什么?

扫描电镜能否作为测长计量仪器所必需的三个条件是:

(1)必须有扫描电镜的计量检定规程

计量检定规程应对与扫描电镜测长有关的仪器参数,如扫描电镜分辨力的、图像放大倍率等进行校验或校准并对重复性的确定,以及图像畸变或线性失真度的校验等做出明确的规定,只有通过计量检定的扫描电镜才可以用于精确测长。

(2)必须有扫描电镜的长度测量的标准方法

标准方法规定扫描电镜在测长时应遵循的步骤及应注意的一些问题,只有严格按照标准方法的规定执行,才可能将测量的长度值追溯到长度基准。

(3)必须有扫描电镜测长用的长度标准器

在扫描电镜计量检定时所进行的图像放大倍率校准和在测长标准方法规定的实际测量过程中都必须使用长度标准器。如2004年通过审查的三个栅网标准样品(栅网的大小分别为 12.50μm(G125)、25.00μm(G250)、62.50μm、82.50μm、125.00μm、165.00μm(G4))和正在研制的其他微米和纳米量级的长度标准器就是这样的长度标准器。它是这三个基本条件的核心。