相对测量的平行度。
平行平晶,以光波干涉原理为基础，利用平行平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的误差程度。具有高精度的平面性和平行性。
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规 格 |
精 度 |
块数 |
|
0-25 |
0.6μm |
4 |
|
25-50 |
0.6μm |
4 |
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50-75 |
0.6μm |
4 |
|
75-100 |
1.0μm |
4 |
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